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青海黄河水电新能源分公司是一家电子级多晶硅生产企业,电子级多晶硅产能3300吨/年。现有电子级多晶硅产品已批量应用至3-6英寸、8英寸半导体硅片制造领域,并通过12英寸半导体硅片实验室测试和小批量供货。本项目旨在现有电子级多晶硅生产线的基础上,借助先进的数值模拟软件,对CVD还原炉开展热场、流场稳定性及硅棒致密性研究,主要包括对9对棒还原炉进行三维建模,研究最佳的喷嘴分布、尺寸以及进料配比和电流曲线,研究最稳定的流场、热场,提高还原过程CVD化学气相沉积的均匀性和稳定性,降低电子级多晶硅棒的米花比例,进而提高硅棒致密度和可利用率,同时形成9对棒还原炉建模分析和工艺优化技术方案。
1.2项目招标范围及要求
1.2.1招标范围
1.2.1.1青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司现有9对棒还原炉生产装置基础上,利用先进的数值模拟软件对还原炉内热场、流场稳定性及硅棒致密性进行建模分析,模拟项目主要包括9对棒还原炉内气体流动、辐射传热、传导传热、对流传热、电流棒加热以及对硅沉积的气相和表面化学反应等内容,研究确定最佳的喷嘴分布、尺寸以及进料配比和电流曲线,降低电子级多晶硅棒的杂质含量及米花比例,提高硅棒致密度和可利用率,同时形成9对棒还原炉建模分析和工艺优化技术方案。
1.2.1.2研究要求
1.2.1.2.1通过对9对棒还原炉内喷嘴建模分析,在不改变还原炉结构、炉内喷嘴布置及电源系统等硬件条件的情况下,对喷嘴的孔径、高度、结构进行优化,开展炉内流场、热场模拟,使炉内温度和边界层厚度不均匀性得到优化。
1.2.1.2.2通过对9对棒还原炉内进料配比和电流曲线进行分析,计算得出最适宜的工艺配方,提升硅棒沉积速率,提高沉积层致密度,降低电子级多晶硅棒的米花比例。
1.2.1.2.3提供项目实施阶段的模拟软件临时许可使用权及相关培训技术服务。
1.2.2项目工期:
合同生效后3个月内提交供买方审核的初版技术方案;买方审核并出具修改意见后,于7日内提供最终版技术方案。
1.3资金来源
本项目由青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司利用自有资金建设,资金已落实。
1.4投标人资格
1.4.1法人地位
投标人必须是在中华人民共和国市场监管部门注册的,具有独立法人和一般纳税人资格的多晶硅生长、单晶硅生长等专业领域定制化的模拟仿真软件开发(或授权)项目合作和技术咨询服务企业或代理商。
本项目不接受联合体投标,不允许转让及分包。
1.4.2商业信誉
投标人应具有良好的商业信誉。不存在被列为失信被执行人的情形,具体认定以信用中国(www.creditchina.gov.cn)网站检索结果为准。
1.5业绩
投标人在投标基准日期近五年内,具有至少1项在多晶硅还原、硅单晶生长等专业领域技术服务业绩(附合同复印件)。
1.6招标文件的获取
1.6.1招标文件发售方式
(请登录)报名参与购买招标文件,不接受现场购买。
1.6.2招标文件发售时间
2024年4月24日18:00时至2024年5月7日0:00时。*
1.6.3招标文件价格
获取招标文件需支付信息服务费,费用为:300元。
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